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開発システム 事例

欠陥箇所マッピングシステム

顕微鏡と電動ステージを利用し、観察しながらリアルタイムで欠陥が関撮影対象のどこにあったかをマッピングします。
欠陥として登録した箇所の画像と座標のデータははシステム内に自動保尊されるため、撮影忘れ記録忘れも防止することができます。半導体製造現場でのウェハの欠陥検査や、フィルムやガラスなどの透明体のキズ検査、スライド内の対象の検査などで作業者の負担を大きく減らすことができます。

特徴

1.欠陥を見つけたらクリックするだけで自動的にマップを生成、データを保存
欠陥箇所マッピングシステム
電動ステージを動かしながら欠陥を見つけたら、マウスをクリックするだけで欠陥箇所をマークしたマップが作成され、その箇所が自動的に撮影されます。撮影された画像や欠陥箇所の情報はPCに自動保存されますので、記録忘れ等を防止できます。
デジタルカメラでPCへ映し出された映像をみながら操作行うため、顕微鏡をのぞき込む必要はありません。


2.既存設備を利用してシステムアップ

マッピングシステム構成例 お持ちの顕微鏡に デジタルカメラ、電動ステージ、PC を追加することで、既存設備を利用してコストを抑えてシステムアップが可能です!

こんなお悩みを持つ方におすすめです!

自動検査が難しい対象で、目視での検査精度を重視している。
顕微鏡を覗くという固定された姿勢で長時間の作業を強いられている。
目視検査をしていて、どこを検査していたのかわからなくなってしまう。
検査中の画像やデータを自動保存したい。

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