AD変換で表面形状をスキャンするシステム NAZCA-3D
NAZCA-3Dは非接触レーザ変位計と電動ステージを利用して対象物の表面形状をスキャンするシステムです。XYステージを動作しながら変位計の出力をAD変換しPCへ取り込むことで高速に3Dデータを生成し、計測・解析を行えます。使用するレーザ変位計と電動ステージは用途に沿ったものを選択していただけます。
対象物の表面形状を高速で広範囲に正確に測定するシステムです。非接触レーザ変位計と電動2軸ステージを専用の治具に装着し、XY方向に走査することで高速に3Dデータを生成します。生成された3Dデータは様々な用途に合わせ、3D表示、計測、特殊測定など高度画像処理を用いた解析を行うことができます。システムに使用するレーザ変位計と電動ステージも用途に沿って選択でき、システム構築することが可能です。
データの取り込みはレーザー変位計の出力値（アナログ信号）をデジタル信号へ変換し行われます。そのため、レーザー変位計だけでなく計測値を電圧としてアナログ出力できるセンサーであれば、ステージの移動と同期したスキャンや測定に利用することできます。
測定スペック
レーザー変位計を要求精度やレンジにあわせて選択することで、下記の様な幅広い測定が可能です。
変位計タイプ１
| １.測定精度１ | 計測繰り返し性0.2μmを実現(※1)
0.002～0.6ｍｍの段差計測に最適 |
|---|---|
| ２.測定エリア（XY） | 100mm、200mm、300mmから選択
用途に合わせてスキャニングステージ種類の選択可能(※2) |
| ３.測定レンジ（Z） | ●超高精度タイプ ：0.6mm、2.0mmから選択(※3) ●高精度タイプ：2.0mm、10.0mm、30.0mm、80.0mmから選択(※3) |
| ４.測定時間 | 1×1mmを約50秒(※4)
10×10mmを約5分(※5)で測定 |
| ５.カスタム | 加熱検査用ホットプレート搭載ステージや、 重量物測定用倒立型ステージ、その他大型ステージも提案可能 |
※1．超高精度タイプのセンサを利用し、既定段差ブロック0.003mmの段差を20回繰り返し測定した際のσ(測定領域：各段5mm矩形
※2．カスタム対応にて300mm以上の大型ステージなども可能
※3．データ数10,000データ(100×100点）、0.01mmピッチ、双方向スキャン時
※4．データ数40,000データ(200×200点）、0.05mmピッチ、双方向スキャン時
その他
変位計に拘らず±10Vのアナログ出力が行えるセンサーであれば、ステージの移動と同期した値の取り込みは可能です。
非接触・非破壊で表面形状を3D化
測定部にレーザ変位計を採用することにより、対象物に傷を付けずに破壊することなく正確な3Dサンプリングを実現します。
高速リアルタイムサンプリング
当社独自の高速3Dデータ処理の実現により100×100のデータをおよそ50秒※1でスキャニングし3D画像化することできます。広範囲※2な測定範囲も短時間で3Dデータを得られます。スキャン中もRSV方式によりグラフィカルな3D表示をご覧いただけます。 ※1．1,000×1,000μmの範囲をスキャニングした場合 ※2．測定可能範囲は、使用するステージにより異なります。
豊富な画像処理・解析機能
NAZCA-3Dでは生成された3Dデータを柔軟に定量化することができます。多彩なグラフィック3Dビュー、高度な2D・3D補正処理、豊富な計測、解析処理など、様々な用途にお応えいたします。
AD変換によるデータ取込みにより様々なセンサーで利用可能
NAZCA-3Dでは±10Vのレンジで出力されたアナログ信号（電圧）をADC分解能 16bitでPCへ取り込むことでデータを生成します。そのためレーザー変位計を利用した表面形状だけでなく、膜厚計を利用した厚みデータのスキャンや温度計を利用した計測など様々なセンサーの情報を面として可視化することができます。
