NAZCA-3Dシステム仕様

NAZCA-3Dシステムの主な仕様です。

システム仕様

分解能	水平(平面）：最小0.2μm（≦5mm）※1 垂直（高さ）：0.1μm（≦5mm）※2
精度	高さ繰り返し精度：0.2μm以下※3
測定領域	測定領域（縦×横）：0.02×0.02mm～300×300mm※4 最大試料高さ：標準：80mm※5 ワーキングディスタンス：6mm※2 スキャニングステージ　：標準：20mm、50mm、100mm、200mm、300mm※6
センサ構造	Ｚステージ稼動量：微粗動30mm※1
計測	主な計測項目：段差計測、断面プロファイル計測（高さ、幅、角度、Ｒ、波形比較）、体積・表面積、平面寸法計測、画面内多点計測、表面粗さ、周期性分析、粒子解析、基準面高さ分析
AD変換	レンジ：±10V ADC分解能：16bit

※1．標準50mmステージの場合。使用する測定ステージの種類により変わります。
※2．超高精度センサ使用時。ただし、使用する測定部センサヘッドによって異なります。
※3．超高精度センサを使用して既定段差ブロック3μmの段差を20回繰り返し測定した際のσ (測定領域：各段5mm矩形)
※4．標準200mmステージ使用時
※5．異形物はご相談ください。
※6．その他、特注ステージ、安全ブースもオプションにてご提案可能

システムユーティリティ

外形寸法※1	（W×D×H）mm：約800×600×500mm※1
質量※1	約30kg
最大消費電力※1	約500VA
電源※1	3pin　100V　約10A
使用周辺温度※1	5～40℃
コンセント数	6口以上

※1．標準50mmステージの場合。使用する測定ステージの種類により変わります。

センサ部

超高精度タイプ	[TYPE1] 測定範囲：0.6mm,分解能：0.01μm,基準距離:6mm,スポット径:2μm [TYPE2] 測定範囲：2mm,分解能：0.1μm,基準距離:30mm,スポット径:7μm
高精度タイプ	[TYPE1] 測定範囲:2mm,分解能：0.01μm,基準距離:10mm,スポット径:20μm [TYPE2] 測定範囲:10mm,分解能：0.05μm,基準距離:30mm,スポット径:30μm [TYPE3] 測定範囲:30mm,分解能：0.2μm,基準距離:80mm,スポット径:70μm [TYPE4] 測定範囲:80mm,分解能：0.5μm,基準距離:150mm,スポット径:120μm
測定方式	超高精度タイプ...共焦点高精度タイプ　...三角測距方式

※使用するセンサーは仕様・用途に応じてご選択・ご提案可能です。別途ご相談ください。
※上記仕様は、一部変更される場合がございます。別途ご相談ください。
※上記以外のスペックの場合もご提案可能です。

ステージ部

移動量XY	20mm, 50mm, 100mm, 200mm
繰り返し位置決め精度	±1μm
位置決め精度	4μm(移動量10mm時)
最小移動分解能	0.2μm
高さ(手動)調整機構	30mm